X射線(xiàn)是一種波長(zhǎng)較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線(xiàn)與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線(xiàn)管產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線(xiàn)），探測(cè)器對(duì)X熒光進(jìn)行檢測(cè)。

 

XRF利用初級(jí)X射線(xiàn)光子或其他微觀離子激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線(xiàn)）而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究的方法。按激發(fā)、色散和探測(cè)方法的不同，分為X射線(xiàn)光譜法（波長(zhǎng)色散）和X射線(xiàn)能譜法（能量色散）。

 

X射線(xiàn)熒光光譜儀工作原理：

 

用X射線(xiàn)照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線(xiàn)，需要把混合的X射線(xiàn)按波長(zhǎng)(或能量)分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)(或能量)的X射線(xiàn)的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線(xiàn)熒光光譜儀。由于X光具有一定波長(zhǎng)，同時(shí)又有一定能量，因此，X射線(xiàn)熒光光譜儀有兩種基本類(lèi)型：波長(zhǎng)色散型和能量色散型。

 

X射線(xiàn)熒光光譜儀分析的一般步驟是： 

 

1.選擇分析方法; 

2.樣品制備; 

3.儀器參數(shù)選擇與校準(zhǔn)曲線(xiàn)的制作; 

4.試樣分析。