鎢燈絲掃描電鏡裝配的基本組件可以滿足高分辨率成像的要求，這些基本組件不僅可以保證電鏡高質(zhì)量的成像，而且能夠?qū)崿F(xiàn)快速裝載樣品，短時(shí)間內(nèi)成像。精確的自動(dòng)聚焦和電子束自動(dòng)對(duì)中使飛納電鏡系列成為市場(chǎng)上受用戶歡迎、操作簡(jiǎn)單的鎢燈絲掃描電鏡。對(duì)于有高分辨率成像需求的用戶來說，Phenom Pure可以提供經(jīng)濟(jì)、高效的解決方案。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
 

　　無論是透明的材料或不透明材料、甚至熒光材料都可以分析出較為理想的效果。在較低放大率下，移動(dòng)采樣階段可以找到待分析的樣本、放大的和聚焦的樣本。較簡(jiǎn)單的方法是找出邊界明顯的特征點(diǎn)，使用對(duì)比度、亮度、放大率和焦距來制作圖像，然后在樣本的基礎(chǔ)上尋找或選擇感興趣的分析站點(diǎn)。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡的調(diào)焦結(jié)構(gòu)分為微動(dòng)調(diào)焦和粗動(dòng)調(diào)焦兩部分：
 

　　1、微動(dòng)調(diào)焦結(jié)構(gòu)
 

　　微動(dòng)機(jī)構(gòu)有齒輪式，杠桿式，行星輪式等結(jié)構(gòu)形式，中以齒輪式粗、微動(dòng)同軸結(jié)構(gòu)使用得普通。
 

　　2、粗動(dòng)調(diào)焦結(jié)構(gòu)
 

　　粗動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)一般采用齒輪與齒條的嚙合運(yùn)動(dòng)形式，選用組織穩(wěn)定而耐磨性較強(qiáng)的合金材料，并經(jīng)過精密加工而成。
 

　　當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手掄時(shí)，全相試樣表面對(duì)光學(xué)系統(tǒng)發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，被調(diào)系統(tǒng)作準(zhǔn)確的直線運(yùn)動(dòng)。移動(dòng)時(shí)效尾與燕尾榴配合平穩(wěn)，沒合松動(dòng)或過緊的現(xiàn)象。而齒輪與齒條的齒合精度由調(diào)整齒條與齒輪的中心距保證。